乐鱼体育官网 碳化硅抛光液 MYH-SCPS500

碳化硅抛光液简介

碳化硅抛光液 MYH-SCPS500 是第三代半导体碳化硅材料加工的中枢精密抛光耗材，通过化学机械协同抛光，杀青碳化硅晶片 / 器件名义原子级平坦化，精确截止名义圣洁度与面型精度，铲除加工毁伤层，保险碳化硅基器件在光电、半导体界限的高性能诓骗。

超净抛光（行业术语）：通过化学腐蚀 + 机械研磨双重作用，去除碳化硅加工产生的刀纹、变质层及亚名义毁伤，将名义圣洁度截止在纳米 / 原子级（Ra≤0.1nm），杀青：

1.低弱点制备，普及器件成品率；

2.保证衬底外延滋长均匀性，夯实芯片制造基础；

3.优化器件名义性能，普及耐磨性、密封性与光电传输成果。

产物性格

1.磨料精确：磨料，粒径漫步窄，原子级去除，幸运飞艇APP官网下载无深层划痕与亚名义毁伤；

2.高效协同：化学腐蚀与机械切削精确配比，抛光成果普及 30% 以上；

3.悬浮贯通：非常分歧体系，久置不分层不集聚，抛光面型一致性≤5nm；

4.环保易清：水性体系，无无益残留，纯水可快速冲净，leyu体育无二次玷辱；

5.适配性强：兼容各类碳化硅成品，适配单面 / 双面抛光机、CMP 抛光开拓等主流开拓；

6.面型可控：抛光后无翘曲、塌边，精确把控 TTV、Bow、Warp 等面型参数。

诓骗界限

中枢用于碳化硅材料粗抛、精抛及超精密抛光，铲除加工毁伤、杀青原子级平坦化，适用于：

· 碳化硅晶片：4H/6H-SiC 单晶衬底、外延片及 2/4/6/8 寸晶圆片粗磨，晶片减薄后名义粗磨诞生；

· 碳化硅器件：功率 / 射频器件、光电探伤器 / 激光器、MEMS 传感器芯片的碳化硅基底粗磨；

· 碳化硅结构件：工业耐磨件、航空航天耐高温件、光学仪器元件的粗磨成型；

· 其他硬脆材料：蓝对峙、氮化镓晶片，石英玻璃、氧化锆陶瓷及半导体开拓精密陶瓷部件粗磨预处分。

常见类型

1.专用粗抛液：切削力强，快速去除加工毁伤层，材料去除速度 0.8-1.2μm/min；

2.专用精抛液：磨料更细，杀青 Ra≤0.1nm 超镜面抛光，无亚名义毁伤；

3.二合一抛光液：集成粗抛 + 精抛功能，简化经由，加工成果普及 50%。

储存与使用

1.温度：5℃~30℃，防冻（30℃组分变质），辨认明火热源；

2.储存：密封存放于干燥透风处，幸免阳光直射，开封后尽快使用；

3.使用：使用前充分搅动均匀，可按需稀释乐鱼体育官网，搭配专用抛光垫，抛光后立即用纯水冲洗工件。

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